HERO Scout: KI-gestützter autonomer Roboter für die Reticle-Logistik in der Halbleiterfertigung
Zusammenfassung
Im EU-Forschungsprojekt AIMS 5.0 entwickelt Fabmatics den HERO Scout, einen autonomen mobilen Roboter zur präzisen und KI-gestützten Logistik von Fotomasken in der Halbleiterfertigung. Dieser kompakte AMR mit integriertem Cobotarm soll manuelle Handhabungsroutinen ersetzen, die Effizienz steigern und die digitale Souveränität in Reinräumen stärken.