DAS Environmental Experts: ALCEA – für die integrierte NOx-Behandlung in Halbleiterfabriken
Zusammenfassung
DAS Environmental Experts stellt mit ALCEA eine hochintegrierte Lösung zur NOx-Reduktion in Halbleiterfabriken vor, die direkt in bestehende Abluftkanäle nachgerüstet werden kann und so wertvollen Platz in der Subfab spart. Die plasmagestützte Katalysatortechnologie wandelt Stickoxide in wasserlösliche Verbindungen um, die in der zentralen Nassabgasreinigung entfernt werden, und erreicht dabei eine Reduktion von bis zu 95 Prozent. Das in enger Zusammenarbeit mit dem taiwanesischen Forschungsinstitut ITRI entwickelte System wird erstmals auf der SEMICON Taiwan 2026 vorgestellt.