Neue Ionenstrahlquelle im Aufbau: ECRION macht präzise Oberflächenbearbeitung noch genauer

Zusammenfassung

Das Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (IOM) entwickelt im Projekt ECRION eine neuartige, mikrowellenangeregte Ionenstrahlquelle, die auch chemisch reaktive Gase für die ultrapräzise Oberflächenbearbeitung nutzen kann. Ziel ist es, die Stabilität im Dauerbetrieb, die Energieeffizienz und die präzise Kontrolle der Strahlform bestehender Systeme zu verbessern. Bis Ende 2027 sollen ein funktionsfähiges Labormuster sowie ein digitaler Zwilling zur weiteren Optimierung der Quelle fertiggestellt sein.