Inverted Fireball: Der Plasmaverstärker – bei richtiger Parameterwahl

Zusammenfassung

Der Inverted Fireball (IFB) erhöht lokal die Plasmadichte und den Anteil aktiver Spezies, was in Versuchen mit Titan zu dichteren und härteren Schichten führte. Für die erfolgreiche und reproduzierbare Anwendung sind jedoch eine präzise Prozessführung sowie die korrekte Wahl von Parametern wie Gitterposition und Anodenspannung entscheidend. Als einfachere Alternative zum aufwendigen HiPIMS-Verfahren bietet der IFB ein vielversprechendes Potenzial, um etablierte Magnetron-Sputterprozesse gezielt zu verbessern.