SensoTech: Neuer Ultraschallsensor von SensoTech für Halbleiter-Nassprozesse
Zusammenfassung
SensoTech hat einen neuen Ultraschallsensor für die Inline-Messung von Nassprozessen in der Halbleiterfertigung vorgestellt. Der Sensor nutzt die Schallgeschwindigkeit, um Konzentrationen in Echtzeit zu bestimmen und ist temperaturkompensiert, wartungsfrei und leicht integrierbar. Durch kontinuierliche Überwachung können Prozessabweichungen früh erkannt, Badwechsel optimiert und die Qualitätssicherung verbessert werden.